研究者
J-GLOBAL ID:200901041160071920
更新日: 2020年04月05日
尾崎 義治
オザキ ヨシハル | Ozaki Yoshiharu
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所属機関・部署:
北見工業大学 工学部 機械工学科
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職名:
教授
研究分野 (2件):
計測工学
, 光工学、光量子科学
研究キーワード (2件):
光応用計測
, Optical Instrumentation
競争的資金等の研究課題 (6件):
1999 - 2002 位相物体の顕微観察
1999 - 2002 Microscopic Observation of Phase Objects
1999 - 2001 反応ガス流の可視化
1999 - 2001 Visualization of Reactive Gas Flow
1999 - 空間コヒーレンス度の測定
1999 - Measurement of Degree of Spatial Coherence
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MISC (12件):
Hecht OPTICS III. Maruzen. 2003
Hecht OPTICS II. Maruzen. 2003
Hecht OPTICS III. Maruzen. 2003
Hecht OPTICS II. Maruzen. 2003
Low-Pulse-Energy Excimer-Laser-Induced Damage in Thermally Oxidized Si(100) Substrates. Japanese Journal of Applied Physics. 1998. 37. 7. 3948-3950
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特許 (8件):
ドライエッチング装置(日本国特許第1291580,共著)
パターン形成方法(日本国特許第1657100,共著)
半導体装置におけるスルーホール部の清浄化方法(日本国特許第1446518,共著)
Dry-etching System
Patterning Method
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書籍 (6件):
ヘクト光学III
丸善出版事業部 2003
ヘクト光学II
丸善出版事業部 2003
ヘクト光学I
丸善出版事業部 2002
Hecht OPTICS I
Maruzen 2002
システム工学と線形システム理論
内田光鶴圃 1998
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学位 (2件):
工学博士 (大阪府立大学)
工学修士 (大阪府立大学)
所属学会 (5件):
日本物理学会
, 日本機械学会
, 計測自動制御学会
, 日本光学会
, 応用物理学会
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