研究者
J-GLOBAL ID:200901041160071920   更新日: 2020年04月05日

尾崎 義治

オザキ ヨシハル | Ozaki Yoshiharu
所属機関・部署:
職名: 教授
研究分野 (2件): 計測工学 ,  光工学、光量子科学
研究キーワード (1件): 光応用計測
競争的資金等の研究課題 (3件):
  • 1999 - 2002 位相物体の顕微観察
  • 1999 - 2001 反応ガス流の可視化
  • 1999 - 空間コヒーレンス度の測定
MISC (2件):
  • Hecht OPTICS III. Maruzen. 2003
  • Hecht OPTICS II. Maruzen. 2003
特許 (3件):
  • ドライエッチング装置(日本国特許第1291580,共著)
  • パターン形成方法(日本国特許第1657100,共著)
  • 半導体装置におけるスルーホール部の清浄化方法(日本国特許第1446518,共著)
書籍 (4件):
  • ヘクト光学III
    丸善出版事業部 2003
  • ヘクト光学II
    丸善出版事業部 2003
  • ヘクト光学I
    丸善出版事業部 2002
  • システム工学と線形システム理論
    内田光鶴圃 1998
学位 (2件):
  • 工学博士 (大阪府立大学)
  • 工学修士 (大阪府立大学)
所属学会 (5件):
日本物理学会 ,  日本機械学会 ,  計測自動制御学会 ,  日本光学会 ,  応用物理学会
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