Thermally Oxidized Layers on Si-Wafers-Surface X-ray Scattering and Field Ion Microscopy-
Advance in the Understanding of Crystal Growth Mechanisms(Elsevier) 1997
X-ray Diffraction Evidence for Crystalline SiO<sub>2</sub> in Thermal Oxide Layer on Si Substrates
Physics and Chemistry of SiO<sub>2</sub> Interface 3(The Electrochemical Society) 1996
The Effect of Oxygen Adsorption on Field Stimulated Exoelectron Emission from High Purity Aluminum
Thin Films in Tribology, (Elsevier) 1993
Synthesis of Tungten Disulfide on Tungsten-tip Directly inside FIM
Thin Films in Tribology, (Elsevier) 1993
Generation of Silicon Interstitials by Thermal Oxidation of Silicon Wafers
Defect Control in Semiconductors, K. Sumino (ed), Elsevier 1990
学歴 (4件):
- 1963 大阪大学 工学研究科 応用物理学
- 1963 大阪大学
- 1961 大阪大学 工学部 精密工学
- 1961 大阪大学
学位 (1件):
工学博士 (大阪大学)
経歴 (7件):
1976 - 1984 大阪大学 助教授
1976 - 1984 大阪大学
1965 - 1976 大阪大学 助手
1965 - 1976 Osaka University, Research Assistant
1963 - 1965 大阪大学 教務員
1963 - 1965 大阪大学
福井工業大学 工学部 経営情報学科 教授
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委員歴 (2件):
1995 - 精密工学会 支部長
1989 - 1990 応用物理学会 理事
所属学会 (6件):
日本放射光学会
, 精密工学会
, 日本結晶成長学会
, 日本結晶学会
, 応用物理学会
, Japan Society of Applied Physics