研究者
J-GLOBAL ID：200901050693774786   更新日: 2024年01月17日

森永 均

モリナガ ヒトシ | Morinaga Hitoshi
所属機関・部署：
株式会社フジミインコーポレーテッド 技術本部

株式会社フジミインコーポレーテッド 技術本部 について


職名： 本部長
研究分野 (11件)： 材料加工、組織制御 ,  電気電子材料工学 ,  薄膜、表面界面物性 ,  電子デバイス、電子機器 ,  無機・錯体化学 ,  基礎物理化学 ,  ナノマイクロシステム ,  ナノバイオサイエンス ,  ナノ材料科学 ,  ナノ構造物理 ,  ナノ構造化学
研究キーワード (10件)： 平坦化 ,  CMP ,  表面電気化学 ,  エッチング ,  シリコン ,  クリーン化 ,  洗浄 ,  研磨 ,  ウェットプロセス ,  半導体
競争的資金等の研究課題 (7件)：
  • 2006 - 電子デバイス用CMPスラリーの高性能化に関する研究
  • 2006 - 超精密研磨機構の解明に関する研究
  • 2005 - 半導体表面の原子オーダー平坦化技術に関する研究
  • 2005 - 液中におけるシリコン表面化学反応のメカニズムに関する研究
  • 2004 - 半導体ウェット洗浄プロセスの高性能化に関する研究
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MISC (63件)：
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書籍 (9件)：
  • Scientific Wet Process Technology for Innovative LSI/FPD Manufacturing
    Taylor and Francis / CRC Press 2006
  • Scientific Wet Process Technology for Innovative LSI/FPD Manufacturing
    Taylor and Francis / CRC Press 2006
  • CMP技術体系
    2005
  • ’05 最新半導体プロセス技術
    (株)プレスジャーナル 2004
  • 最新の超精密加工・成形技術と部品化プロセス技術
    (株)技術情報協会 2001
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学歴 (4件)：
  • - 1995 東北大学 工学研究科 電子工学専攻
  • - 1995 東北大学
  • - 1986 東京理科大学 理工学部 工業化学科
  • - 1986 東京理科大学
学位 (1件)：
  • 博士(工学) (東北大学)
経歴 (5件)：
  • 2005 - 2007 東北大学 未来科学技術共同研究センター
  • 2007 - - (株)フジミインコーポレーテッド 技術本部
  • 1994 - 2004 三菱化学株式会社
  • 1992 - 1994 東北大学 工学部 電子工学科(出向)
  • 1986 - 1992 三菱化成(現・三菱化学)株式会社
委員歴 (1件)：
  • 2005 - 精密工学会「プラナリゼーションCMP委員会」 幹事
所属学会 (4件)：
精密工学会「プラナリゼーションCMP委員会」 ,  精密工学会 プラナリゼーションCMP委員会委員 ,  Electrochemical Society ,  応用物理学会
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