シリコンの表面ナノ構造に及ぼす光の影響

MORINAGA Hitoshi; SHIMAOKA Kenji; OHMI Tadahiro

文献

J-GLOBAL ID：200902264032874206 整理番号：06A0580606

シリコンの表面ナノ構造に及ぼす光の影響

Impact of Light on the Surface Nanostructure of Silicon

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資料名：
巻： 153 号： 7 ページ： G626-G631 発行年： 2006年
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ウェットプロセスにおいてSiウエハ表面に生じる酸化や面粗れに...

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固体デバイス製造技術一般 , 無機化合物一般及び元素 , 固-液界面

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