研究者
J-GLOBAL ID：200901051685903590   更新日: 2020年06月07日

佐藤 勝

サトウ マサル | SATO MASARU
所属機関・部署：
北見工業大学 大学院工学研究科 博士後期課程

北見工業大学 大学院工学研究科 博士後期課程 について


職名： 大学院生(博士課程)
研究分野 (1件)： 電気電子材料工学
研究キーワード (1件)： Cuにおける拡散バリヤ
競争的資金等の研究課題 (1件)：
  • 45~32nmノードに対応したCu/ナノバリヤ/low-k材料における各界面での界面制御のあり方
MISC (1件)：
講演・口頭発表等 (10件)：
  • ZrNバリヤを用いたCu/層間絶縁膜間の界面制御
    (平成19年度電子情報通信学会電子部品・材料研究会(CPM) 2007)
  • Cu/ZrN/SiO2/Si構造における極薄ZrNバリヤの適用
    (平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会 2007)
  • Cu/SiOC間にZrNバリヤを用いた理想的な界面のあり方の検討
    (2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会学術講演会 2007)
  • Application of extremely thin ZrN film as a diffusion barrier between Cu and SiOC
    (Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies(EM-NANO 2007) 2007)
  • Hot-wire法におけるラジカル窒化反応させたZrNバリヤの熱的安定性
    (2007年(平成19年)春季第54回応用物理学関連連合講演会 2007)
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学位 (1件)：
  • 修士 (北見工業大学)
受賞 (2件)：
  • 2007 - 平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会優秀論文発表賞
  • 2007 - 応用物理学会北海道支部学術講演会発表奨励賞
所属学会 (2件)：
情報通信学会 ,  応用物理学会
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