- 2018/04 - 現在 早稲田大学 研究戦略センター 教授
- 2014/07 - 2018/03 名古屋大学 イノベーション戦略室 室長・教授
- 2012/04/01 - 2014/06/30 独立行政法人 産業技術総合研究所 副理事長
- 2007/02/16 - 2012/03/31 独立行政法人 産業技術総合研究所 理事
- 2004/04/01 - 2007/02/15 独立行政法人 産業技術総合研究所 計測フロンティア研究部門長
- 2002/04/01 - 2004/03/31 独立行政法人 産業技術総合研究所 極微プロファイル計測研究ラボ長
- 2001/04/01 - 2002/03/31 独立行政法人 産業技術総合研究所 企画本部 総括企画主幹
- 1998/01/01 - 2001/03/31 工業技術院 電子技術総合研究所 極限技術部 総括主任研究官
- 1993/04/01 - 1997/12/31 工業技術院 電子技術総合研究所 極限技術部 表面制御研究室長
- 1985/10/01 - 1993/03/31 工業技術院 電子技術総合研究所 極限技術部 主任研究官
- 1982/04/01 - 1985/09/30 工業技術院 電子技術総合研究所 極限技術部 研究員
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