研究者
J-GLOBAL ID:200901061615698455
更新日: 2020年05月18日
張 毅
ザン イ | Zhang Yi
所属機関・部署:
独立行政法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター 大規模インテグレーション研究チーム
独立行政法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター 大規模インテグレーション研究チーム について
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ホームページURL (1件):
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=I30104281
研究分野 (2件):
ナノマイクロシステム
, ナノ材料科学
研究キーワード (2件):
MEMS MEMSデバイス 低消費電力センサ Power MEMS マイクロリアクタ
, MEMS; MICRO FUEL CELL; MICRO REACTOR; RF MEMS
MISC (6件):
Jian Lu, Takeshi Kobayashi, Yi Zhang, Ryutaro Maeda, Takashi Mihara. Wafer scale lead zirconate titanate film preparation by sol-gel method using stress balance layer. THIN SOLID FILMS. 2006. 515. 4. 1506-1510
Y Zhang, J Gwak, Y Murakoshi, T Ikehara, R Maeda, C Nishimura. Hydrogen permeation characteristics of thin Pd membrane prepared by microfabrication technology. JOURNAL OF MEMBRANE SCIENCE. 2006. 277. 1-2. 203-209
Y Zhang, J Lu, T Ikehara, R Maeda, C Nishimura. Characterization and permeation of microfabricated palladium membrane. MATERIALS TRANSACTIONS. 2006. 47. 2. 255-258
Y Zhang, R Maeda, M Komaki, C Nishimura. Hydrogen permeation and diffusion of metallic composite membranes. JOURNAL OF MEMBRANE SCIENCE. 2006. 269. 1-2. 60-65
LU Jian, IKEHARA Tsuyoshi, ZHANG Yi, MAEDA Ryutaro, MIHARA Takashi. Energy Dissipation Mechanisms in PZT Thin Film Transduced Micro Cantilevers. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2006. 45. 11. 8795-8800
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所属学会 (1件):
日本電気学会
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