研究キーワード (3件):
ガラスインプリント
, マイクロマシン
, Micro Electro Mechanical System
競争的資金等の研究課題 (4件):
1998 - 厚膜レジストを用いた微小構造体の作製 Si鋳型を用いたマイクロ電鋳プロセス
マイクロマシニング
Micromachining
LIGA LIKE PROCESS Micro Electro-forming Process using a silicon-mold
MISC (5件):
Manabu Yasui, Yasuo Hirabayashi, Kuniyuki Kakushima, Makoto Mita, Hiroyuki Fujita. Application of ElectroDeposition Photoresist as a sacrificial layer to the Circular Micro Hole Forming. IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 2003. 123. 11. 477-482
Manabu Yasui, Yasuo Hirabayashi, Kuniyuki Kakushima, Makoto Mita, Hiroyuki Fujita. Application of ElectroDeposition Photoresist as a sacrificial layer to the Circular Micro Hole Forming. IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 2003. 123. 11. 477-482
Si鎬型を用いた微細穴の試作. 電気学会E部門誌. 2002. Vol.122-E, No8, Aug. pp.415-416
Micro-hole Fabrication using a silicon-mould. Trans. IEE of Japan. 2002. Vol.122-E, No8, pp.415-416
学歴 (2件):
- 1998 東京工業大学 総合理工学研究科 精密機械システム
東京都立科学技術大学 工学部 管理工学科
学位 (1件):
修士 (東京工業大学)
所属学会 (4件):
表面技術協会
, 電気学会
, The Journal of the Suface Finishing Society of Japan
, The Institute of Electrical Engineers of Japan