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J-GLOBAL ID：200902230457364900   整理番号：03A0788311

円形状微細穴形成に対する犠牲層としての電着レジストの適用

著者 (5件)： 安井学 (神奈川県産業技総研) ,  角嶋邦之 (東大 生産技研) ,  平林康男 (神奈川県産業技総研) ,  三田信 (東大 生産技研) ,  藤田博之 (東大 生産技研)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 123  号： 11  ページ： 477-482  発行年： 2003年11月01日 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： インクジェットプリンタノズルなど多数の微細穴構造を形成するた...

シソーラス用語： *インクジェット印刷 ,...
準シソーラス用語： インキノズル ,...

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分類 (2件)： 入出力装置  (JC04050U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• (1) TOOL ENGINEER : Vol. 43, No. 8, pp. 9-78 (1999-8) (in Japanese)
• 機械と工具:43,8,pp. 9-78 (1999-8)
• (2) M. Yasui, et al. : “Micro Electro-forming Process using a silicon-mold”, Tech. Digest of 18th Sensor Symposium, 2001, pp. 65-68, Kawasaki (2001)
• (3) M. Yasui, K. Kakushima, Y. Hirabayashi, M. Mita, and H. Fujita : “Micro-hole fabrication using a Silicon-mold”, T. IEE Japan, Vol. 122-E, No. 8, pp. 4145-416 (2002-8) (in Japanese)
• 安井 学·角嶋邦之·平林康男·三田 信·藤田博之:「Si鋳型を用いた微細穴の試作」,電学論E,122,8,pp. 4145-416 (2002-8)

タイトルに関連する用語 (5件)： 円形状 ,  微細穴 ,  犠牲層 ,  電着 ,  レジスト