村上直

ムラカミスナオ | Murakami Sunao

所属機関・部署：
職名：准教授

研究分野 (6件)：電子デバイス、電子機器 , 生体化学 , ナノバイオサイエンス , 薄膜、表面界面物性 , ナノマイクロシステム , ナノ材料科学

研究キーワード (8件)：表面特性の制御 , 微細加工技術 , MEMS , マイクロデバイス , modification of solid surfaces , microfabrication , microelectromechanical system (MEMS) , microdevices

MISC (50件)：

村上直, 山本秀介, 荒木一宏, 伊藤高廣. 複合エッチング加工技術を用いた基板表面への微小3次元構造アレイの作製(共著). 電気学会論文誌E. 2018. 138. 6. 263-267
Sunao Murakami, Shusuke Yamamoto, Kazuhiro Araki, Takahiro Ito. Fabrication of arrays of the three-dimensional microstructures on a substrate using the combined etching processes. IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 2018. 138. 6. 263-267
Sunao Murakami, Daisuke Ishihara, Masateru Araki, Naoto Ohira, Takahiro Ito, Tomoyoshi Horie. Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible PI membranes(共著). Micro and Nano Letters. 2017. 12. 11. 913-915
D. Ishihara, N. Ohira, M. Takagi, S. Murakami, T. Horie. Fluid-structure interaction design of insect-like micro flapping wing(共著). Coupled Problems in Science and Engineering VII. 2017. 870-875
Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible PI membranes "jointly worked". 2017. 12. 11. 913-915

学位 (1件)：

博士(工学) (九州大学)

所属学会 (16件)：

日本食品工学会 , 日本バイオマテリアル学会 , 日本機械学会 , 応用物理学会 , アイ・トリプル・イー (IEEE) , 化学工学会 , 電気学会 , 精密工学会 , Japan Society for Food Engineering , Japanese Society for Biomaterials , The Japan Society of Mechanical Engineers , The Japan Society of Applied Physics , Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) , The Society of Chemical Engineers. Japan , The Institute of Electrical Engineers of Japan , The Japan Society for Precision Engineering

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