研究者
J-GLOBAL ID：200901073602314435   更新日: 2023年06月14日

水野 文夫

ミズノ フミオ | Mizuno Fumio
研究分野 (2件)： 計測工学 ,  電子デバイス、電子機器
研究キーワード (2件)： 計測 ,  電子デバイス
MISC (36件)：
もっと見る
特許 (19件)：
  • 走査型電子顕微鏡の試料像表示方法
  • プロセス管理システム
  • 試料分析装置および方法
  • パターン形状測定装置および方法
  • パターン欠陥検査装置および方法
もっと見る
書籍 (10件)：
  • はじめての半導体計測
    工業調査会 2008
  • 図解 半導体基礎
    科学出版社 2007
  • 半導体がわかる本
    オーム社 2005
  • FE-SEMによるナノ構造観察
    リアライズ 2000
  • Lithography
    Springer-Verlag 1998
もっと見る
講演・口頭発表等 (22件)：
  • A New Technique for Determining Electron-Beam Tilt Angle and Depth-of-Focus in Scanning Electron Microscopy
    (EIPBN '05 2005)
  • Impacts of Tip Tilting on Measurement Uncertainty in Scanning Probe Microscopy
    (EIPBN '04 2004)
  • Mechanical-Property Measurements of Thin Films Using High-Accelerating Voltage Scanning Electron Microscopy
    (EIPBN '04 2004)
  • Critical Dimension Measurements of Photomasks Using a High-Energy Electron Beam
    (EIPBN '03 2003)
  • Defect Budget Trend Model for Future Device Manufacturing
    (ISSM 2002 2002)
もっと見る
Works (43件)：
  • エレクトロニクス分野における検査と計測(日本工業調査会、電子技術)
    2010 -
  • エレクトロニクス分野の検査・計測の最新動向(工業調査会、電子材料)
    2009 -
  • 学位論文:半導体デバイス製造における電子ビーム利用技術の開発に関する研究
    1998 -
  • 低エネルギー電子線SEMによるLSIの故障解析(電子通信学会技術研究報告 SSD80-50)
  • Application and Evaluation of Direct-write Electron Beam for ASICs(Proc.IEEE CICC)
もっと見る
学歴 (4件)：
  • - 1970 名古屋大学 工学研究科 電子工学
  • - 1970 名古屋大学
  • - 1968 名古屋大学 工学部 電子工学
  • - 1968 名古屋大学
学位 (3件)：
  • 工学士 (名古屋大学)
  • 工学修士 (名古屋大学)
  • 博士(工学) (名古屋大学)
経歴 (2件)：
  • 2001 - 2005 明星大学理工学部 電気工学科 教授
  • 2005 - - 明星大学理工学部 電気電子システム工学科 教授
委員歴 (7件)：
  • 2008 - 2009 (社)日本技術者教育認定機構技術者教育プログラム認定審査・審査員
  • 2003 - 2007 (独)産業技術総合研究所「3Dナノメートル評価用標準物質創成技術プロジェクト」推進委員会・委員
  • 2004 - 2006 国際固体素子・材料コンファレンス 論文委員会論文委員
  • 2001 - 2006 (財)くまもとテクノ産業財団半導体教育講座・講師
  • 2002 - 2004 マイクロプロセス・ナノ工学国際会議 論文委員会論文委員
全件表示
受賞 (2件)：
  • 1996 - 市村賞
  • 1995 - R&D100賞
所属学会 (1件)：
電子情報通信学会
※　J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。 登録・更新については、こちらをご覧ください。

前のページに戻る

TOP

BOTTOM