- 2009 - Julius Springer Prize
- 2007 - 応用物理学会フェロー
- 2007 - 電子情報通信学会業績賞
- 2005 - 第30回井上春成賞
- 2004 - 紫綬褒章
- 2003 - Optical Society of America,Fellow
- 2002 - 表面技術協会論文賞
- 1998 - (財)井上科学振興財団 井上学術賞
- 1996 - 手島工業教育資金団著述賞
- 1992 - 手島工業教育資金団発明賞
- 1991 - (財)光産業技術振興協会桜井健二郎氏記念賞
- 1990 - 応用物理学会賞(論文賞)
- 1988 - 日本IBM科学賞
- 1984 - 電波科学国際連合I・KOGA金賞
- 1982 - 応用物理学会賞(奨励賞)
- 1980 - 手島工業教育資金団奨励賞
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