研究者
J-GLOBAL ID:200901095200168665
更新日: 2020年06月06日
後藤 博史
ゴトウ ヒロシ | Goto Hiroshi
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所属機関・部署:
独立行政法人産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ネットワークMEMS研究グループ
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ホームページURL (1件):
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=H49256000
研究キーワード (1件):
マイクロマシン ナノ加工 精密計測
競争的資金等の研究課題 (1件):
ナノインプリントの研究
MISC (2件):
S. W. Youn, M. Takahashi, H. Goto, T. Kobayashi, R. Maeda. The effect of heat-treatment conditions on mechanical and morphological properties of a FIB-milled glassy carbon mold with micro patterns. JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING. 2006. 16. 7. 1277-1284
Z Yang, S Matsumoto, H Goto, M Matsumoto, R Maeda. Ultrasonic micromixer for microfluidic systems. SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL. 2001. 93. 3. 266-272
学位 (1件):
博士(工学)
経歴 (5件):
2002 - 2004 三井物産ナノテク研究所(DNRI) 主幹研究員
2004 - - 産総研 特別研究員
2001 - 2002 日立ハイテクノロジーズ 主任研究員
2000 - 2001 サムスン総合技術員 専門研究員
1982 - 2000 オムロン(株)中央研究所
所属学会 (3件):
機械学会
, 電気学会
, 精密工学会
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