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J-GLOBAL ID：200902250849959580   整理番号：06A0599010

微細パターンをもつFIBミリングによるガラス状炭素モールドの機械的性質とモルフォロジー特性への熱処理条件の効果

The effect of heat-treatment conditions on mechanical and morphological properties of a FIB-milled glassy carbon mold with micro patterns

著者 (5件)： YOUN S W (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  TAKAHASHI M (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  GOTO H (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  KOBAYASHI T (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  MAEDA R (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 16  号： 7  ページ： 1277-1284  発行年： 2006年07月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集束イオンビーム(FIB)ミリングによるガラス状炭素(GC)...

シソーラス用語： マイクロマシニング ,...
準シソーラス用語： 工作精度 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 微細パターン ,  FIB ,  ミリング ,  ガラス状炭素 ,  モールド ,  機械的性質 ,  モルフォロジー ,  熱処理条件