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J-GLOBAL ID：200902000567658386   整理番号：90A0638057

機械的共振トランスデューサへの微細粒子の引張多結晶けい素の応用

The application of fine-grained, tensile polysilicon to mechanically resonant transducers.

著者 (4件)： GUCKEL H (Univ. Wisconsin, WI, USA) ,  SNIEGOWSKI J J (Univ. Wisconsin, WI, USA) ,  CHREISTENSON T R (Univ. Wisconsin, WI, USA) ,  RAISSI F (Univ. Wisconsin, WI, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 21  号： 1/3  ページ： 346-351  発行年： 1990年02月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 共振力センサは,共振周波数の変化によって軸方向に加わる力に変...

シソーラス用語： 共振器 ,...

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分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 共振 ,  トランスデューサ ,  微細粒子 ,  引張 ,  多結晶けい素 ,  応用