進行波を利用したマイクロ波プラズマの発生

文献

J-GLOBAL ID：200902000859316257 整理番号：90A0029929

Generation of a microwave plasma using traveling waves.

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資料名：
巻： 24 号： 3 ページ： 140-149 発行年： 1989年
JST資料番号： D0640A ISSN： 0832-7823 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

誘電体線路に沿う大面積(180×300mm<sup>2</s...

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プラズマ応用

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