GaAs基板へのFeのマグネトロンスパッタ 高エネルギー衝撃効果

BERNSTEIN S D; WONG T Y; TUSTISON R W

文献

J-GLOBAL ID：200902003007068299 整理番号：93A0060972

GaAs基板へのFeのマグネトロンスパッタ高エネルギー衝撃効果

Magnetron sputtering of Fe onto GaAs substrates: Energetic bombardment effects.

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巻： 72 号： 9 ページ： 4358-4365 発行年： 1992年11月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

(100)GaAs基板上にマグネトロンスパッタでFe薄膜を堆...

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金属薄膜

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GaAs基板へのFeのマグネトロンスパッタ 高エネルギー衝撃効果

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