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J-GLOBAL ID:200902003689527974   整理番号:88A0149387

マイクロリソグラフィーを用いたポリ(3-メチルチオフェン)膜中のマイクロパターンの発生 全有機薄膜トランジスタの設計の第一段階

Generation of micropatterns in poly(3-methylthiophene) films using microlithography: A first step in the design of an all-organic thin-film transistor.
著者 (3件):
資料名:
巻: 22  号:ページ: 265-271  発行年: 1988年01月 
JST資料番号: C0123B  ISSN: 0379-6779  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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電気化学的に調製した標題重合体上にフォトレジストを塗布し,ポ...
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分類 (2件):
分類
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その他の高分子の反応  ,  固体デバイス製造技術一般 

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