文献

J-GLOBAL ID：200902005479586636   整理番号：84A0195323

圧電素子アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台

著者 (3件)： 森山茂夫 (日立) ,  原田達男 (日立) ,  高梨明ひろ (日立)
資料名： 精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 50  号： 4  ページ： 718-723  発行年： 1984年04月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体リソグラフィ装置を主用途とする,高速・高精度かつヨーイ...

シソーラス用語： 圧電素子 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=84A0195323&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

引用文献 (4件)：

• 1) D. S. Alles : Step & Repeat Camera, The Bell System Tech. J., 49, 9, (1970) 2145.
• 2) 井戸 敏ほか : EB-52電子ビーム露光装置の試料移動機構, 昭和53年度精機学会秋季大会学術講演会前刷 (1978) 403.
• 3) 森山茂夫ほか : 高速XY移動台の試作, 昭和54年度精機学会秋季大会学術講演会前刷 (1979) 309.
• 4) J. M. Paros and L. Weisbord : How to design Flexure Hinges, Machine Design, 37, (1965) 151.

タイトルに関連する用語 (5件)： 圧電素子 ,  アクチュエータ ,  微動 ,  超精密 ,  移動台