ICのフォトリソグラフィパタンにおける欠陥のモデル化

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文献

J-GLOBAL ID：200902006484173842 整理番号：85A0056754

ICのフォトリソグラフィパタンにおける欠陥のモデル化

Modeling of defects in integrated circuit photolithographic patterns.

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資料名：
巻： 28 号： 4 ページ： 461-475 発行年： 1984年07月
JST資料番号： D0061B ISSN： 0018-8646 CODEN： IBMJAE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ICにおけるフォトリソグラフィ欠陥の理論の基礎を述べた前報告...

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固体デバイス計測・試験・信頼性 , 集積回路一般

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