天然のリソグラフィー

DECKMAN H W; DUNSMUIR J H

文献

J-GLOBAL ID：200902008331115129 整理番号：83A0126899

天然のリソグラフィー

Natural lithography.

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資料名：
巻： 41 号： 4 ページ： 377-379 発行年： 1982年08月15日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

球状コロイド粒子を利用して大面積リソグラフ・マスクとする新し...

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固体デバイス製造技術一般 , 薄膜成長技術・装置 , 試料技術

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