スパッタ蒸着酸化ニオブの相図

LEE R C; AITA C R

文献

J-GLOBAL ID：200902009879861860 整理番号：91A0781011

スパッタ蒸着酸化ニオブの相図

A phase map for sputter deposited niobium oxides.

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巻： 70 号： 4 ページ： 2094-2103 発行年： 1991年08月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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酸化物薄膜

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