文献

J-GLOBAL ID：200902009890830284   整理番号：88A0262676

超高精度直線運動機構 I 機構の試作と2自由度の制御

An ultra precision straight motion system. (1st report). Two degrees of freedom control of motion.

著者 (4件)： 青山尚之 (東京工大 精密工研) ,  渡辺一郎 (富士通研) ,  堆浩太郎 (東京工大 大学院) ,  下河辺明 (東京工大 精密工研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 54  号： 3  ページ： 558-563  発行年： 1988年03月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 圧電素子を組込んだ能動空気軸受を用い案内テーブルの5自由度の...

シソーラス用語： 直線運動 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： 運動機構  (QB01080K)

引用文献 (3件)：

• 1) 青山尚之, 渡辺一郎, 下河辺 明 : 高精度な直線運動に関する研究(第3報)-5自由度制御直動システム, 精密機械, 51, 12(1985)2277.
• 2) 下河辺 明, 青山尚之, 片桐創一, 梅沢清彦 : 静圧直線案内のベルト駆動(第1報)-直線運動精度, 精密工学会誌, 53, 6(1986)915.
• 3) 渡辺一郎, 青山尚之, 下河辺 明 : 微小振動の制振を考慮した空気静圧保持機構, 昭和61年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(1986)499.

タイトルに関連する用語 (3件)： 直線運動機構 ,  試作 ,  2自由度