モノリシック高精度並進機構の設計と評価

SMITH S T; CHETWYND D G; BOWEN D K

文献

J-GLOBAL ID：200902010739575602 整理番号：87A0533638

モノリシック高精度並進機構の設計と評価

Design and assessment of monolithic high precision translation mechanisms.

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資料名：
巻： 20 号： 8 ページ： 977-983 発行年： 1987年08月
JST資料番号： C0354B ISSN： 0022-3735 CODEN： JPSIAE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

走査トンネリング顕微鏡などに最も重要な高精度並進機構を弾性設...

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運動機構

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