合金スパッタリングと注入による表面偏析

ANDERSEN H H; STENUM B; S<span style=text-decoration:overline>O </span>RENSEN T; WHITLOW H J

文献

J-GLOBAL ID：200902010798041247 整理番号：83A0384806

合金スパッタリングと注入による表面偏析

Surface segregation during alloy sputtering and implantation.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=83A0384806&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=83A0384806&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0208A") }}

著者 (4件)： , , ,
資料名：
巻： 209/210 号： Pt 1 ページ： 487-494 発行年： 1983年05月01日
JST資料番号： D0208A ISSN： 0029-554X CODEN： NIMRD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

スパッター物質の組成を放出角の関数として測定し,偏析層の存在...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=83A0384806&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0208A") }}

スパッタリング , 金属の格子欠陥

, , ,

前のページに戻る