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J-GLOBAL ID：200902010922596511   整理番号：91A0313977

プラズマにさらすことによるレジスト劣化 イオン衝撃の協力現象的(シナジー)効果

Resist degradation under plasma exposure: Synergistic effects of ion bombardment.
著者 (8件)：
JOUBERT O

JOUBERT O について

(Centre National d’Etudes des Telecommunications Grenoble, Meylan, FRA)

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FIORI C

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OBERLIN J C

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PANIEZ P

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PELLETIER J

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PONS M

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VACHETTE T

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WEILL A

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資料名：
Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)

Journal of Applied Physics について


巻： 69  号： 3  ページ： 1697-1702  発行年： 1991年02月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
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酸素及びアルゴンプラズマにさらすことによるレジスト劣化を実験...
シソーラス用語：
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フォトレジスト

フォトレジスト について

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シナジー効果

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分類 (3件)：
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その他の物質の放射線による構造と物性の変化 
(BK16124V)

その他の物質の放射線による構造と物性の変化 について

,  その他の高分子の反応 
(CG03040H)

その他の高分子の反応 について

,  プラズマ応用 
(BJ02110K)

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タイトルに関連する用語 (4件)：
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協力現象

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