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J-GLOBAL ID：200902011134290327   整理番号：90A0896103

紫外線発生のための無音放電と真空紫外エキサイマ照射

Silent discharges for the generation of ultraviolet and vacuum ultraviolet excimer radiation.
著者 (1件)：
KOGELSCHATZ U

KOGELSCHATZ U について

(ASEA Brown Boveri, Banden, CHE)

ASEA Brown Boveri, Banden, CHE について


資料名：
Pure and Applied Chemistry  (Pure and Applied Chemistry)

Pure and Applied Chemistry について


巻： 62  号： 9  ページ： 1667-1674  発行年： 1990年09月 
JST資料番号： H0385A  ISSN： 0033-4545  CODEN： PACHAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)
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抄録/ポイント
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オゾン製造に用いる無音放電で,エキサイマを発生させることがで...
シソーラス用語：
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無声放電

無声放電 について

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分類 (2件)：
分類
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気体放電 
(BJ03020T)

気体放電 について

,  可視・紫外スペクトル一般(分子) 
(BH06041V)

可視・紫外スペクトル一般(分子) について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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紫外線

紫外線 について

, 
無音放電

無音放電 について

, 
エキサイマ

エキサイマ について


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