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J-GLOBAL ID：200902011221028167   整理番号：87A0537592

超大規模集積回路用メタライゼーションのための反応性スパッタ二酸化ルテニウムの特性評価

Characterization of reactively sputtered ruthenium dioxide for very large scale integrated metallization.

著者 (3件)： KRUSIN-ELBAUM L (IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA) ,  WITTMER M (IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA) ,  YEE D S (IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 50  号： 26  ページ： 1879-1881  発行年： 1987年06月29日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： スパッタ蒸着 ,...

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分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  金属-絶縁体-半導体構造【’81~’92】  (BM03074V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 大規模集積回路 ,  メタライゼーション ,  反応性スパッタ ,  酸化ルテニウム ,  特性評価