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J-GLOBAL ID：200902012393521090   整理番号：87A0465141

SAW素子材料の不均質性検出への線焦点ビーム超音波顕微鏡の応用

Application of line-focus-beam acoustic microscope to inhomogeneity detection on SAW device materials.

著者 (4件)： KUSHIBIKI J (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ASANO H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  UEDA T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  CHUBACHI N (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium  (Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 1986  号： 2  ページ： 749-753  発行年： 1986年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1051-0117  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記超音波顕微鏡測定システムを使用して,ガラス基板上に形成し...

シソーラス用語： 音響顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： その他の音響応用  (BB03100I)

タイトルに関連する用語 (6件)： SAW素子 ,  不均質性 ,  焦点 ,  ビーム ,  超音波顕微鏡 ,  応用