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J-GLOBAL ID：200902012795449000   整理番号：88A0588464

TiN_x薄膜の定量的Auger分析の問題点 ピークの重なりと線形の変化

Problems of quantitative Auger analysis of TiN_x thin films: Peak overlapping and line shape changes.

著者 (1件)： PAMLER W (Siemens Microelectronics Technology Center, Muenchen, DEU)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 13  号： 1  ページ： 55-60  発行年： 1988年10月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiN_xの定量的Auger分析は唯一の...

シソーラス用語： 窒化物 ,...

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜 ,  定量 ,  分析 ,  問題点 ,  重なり ,  線形