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J-GLOBAL ID：200902013858896165   整理番号：87A0545200

水素化Siのアモルファスから微結晶への構造変化の研究 何がアモルファス相を安定化させるか?

Study of amorphous to microcrystalline structure change of hydrogenated Si - What stabilizes the amorphous phase?
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著者 (1件)：
HIRAKI A

HIRAKI A について

(Osaka Univ., Suita, JPN)

Osaka Univ., Suita, JPN について


資料名：
Structure and Bonding in Noncrystalline Solids  (Structure and Bonding in Noncrystalline Solids)

Structure and Bonding in Noncrystalline Solids について


ページ： 219-236  発行年： 1986年 
JST資料番号： K19870359  ISBN： 0-306-42396-0  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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Siターゲットから水素雰囲気中のrfスパッタリングで調製した...
シソーラス用語：
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ケイ素

ケイ素 について

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分類 (1件)：
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半導体薄膜 
(BK14040E)

半導体薄膜 について

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水素化

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Si

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アモルファス

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微結晶

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研究

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アモルファス相

アモルファス相 について

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安定化

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