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J-GLOBAL ID：200902015243807157   整理番号：90A0587845

一方向走行ワイヤソーによる高精度・高能率切断技術の開発

Development of high precise and efficient slicing technology by using unidirectional multi-wire-saw.

著者 (5件)： 小嶋正康 (住友金属工業) ,  富沢淳 (住友金属工業) ,  高瀬順一 (住友金属工業) ,  服部英男 (日本スピンドル製造) ,  三谷充男 (日本スピンドル製造)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 56  号： 6  ページ： 1052-1057  発行年： 1990年06月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大口径Siウエハの高能率,高精度,高歩どまり切断を目指した標...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (6件)：

• 1) 高須新一郎 : シリ灘ンウエハーのそり, 応用物理, 49, 1 (1980) 83.
• 2) 大和田国男ほか : Siウエハのスライシング用新型内周刃 (ブレード) の解析, 日本機械学会講演論文集, No.780-17 (1978) 68.
• 3) 大和田国男ほか : Siウエハのスライシング用新型内周刃の解析 (第2報), 日本機械学会講演論文集, No.790-17 (1978) 136.
• 4) 小山喜昭 : 内周型ブレードについて, 日本学術振興会第19回研究会資料, (1983) 22.
• 5) 清水 弘 : ワイヤソー, エレクトロニクス用結晶材料の精密加工技術, サイエンスフォーラム (1985) 195-197.

タイトルに関連する用語 (3件)： ワイヤソー ,  高能率 ,  開発