Siのミクロな機械的破壊強度

ERICSON F; SCHWEITZ J-A

文献

J-GLOBAL ID：200902017222631116 整理番号：91A0195653

Siのミクロな機械的破壊強度

Micromechanical fracture strength of silicon.

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巻： 68 号： 11 ページ： 5840-5844 発行年： 1990年12月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Si超小型素子の破壊強度に対する処理とミクロな機械加工のパラ...

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固体の機械的性質一般 , 固体デバイス製造技術一般

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