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J-GLOBAL ID:200902018839257307 整理番号:91A0881093
特集 超精密位置決め技術の現状 工作機械における超精密位置決め技術の現状
Special Issue on Ultra-precision Positioning Technologies. High-precision Positioning Technology on Recent Machine Tools.
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著者 (2件):
渋川哲郎
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杉田和彦
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資料名:
精密工学会誌 (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
精密工学会誌 について
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巻:
57
号:
10
ページ:
1717-1721
発行年:
1991年10月
JST資料番号:
F0268A
ISSN:
0912-0289
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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引用文献 (5件):
1) 坪井 暉, 前田幸雄 : AHN10・CNC超精密非球面加工機, 豊田工機技報, 30, 2 (1989) 1.
2) 杉田和彦 : 超精密加工機とトライボロジ, 日本機械学会第67期通常総会講演会資料集, D, (1990) 218.
3) 渋川哲郎ほか : 変位制御静圧案内面の開発, 1990年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, (1990) 83.
4) 下河辺 明ほか : アクティブエアベアリングの動剛性制御, 精密工学会誌, 55, 3 (1989) 569.
5) 田中 充ほか : 一体切り欠きバネによる微動用四辺形メカニズムの力学的性質, 応用物理, 52, 6 (1983) 529.
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