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J-GLOBAL ID：200902057865596794   整理番号：89A0257987

アクティブエアベアリングの動剛性制御

Dynamic stiffness control of active air bearing.

著者 (4件)： HORIKAWA O (東京工大) ,  安原健次 (リクルート) ,  長田秀治 (東京工大 精密工研) ,  下河辺明 (東京工大 精密工研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 55  号： 3  ページ： 569-574  発行年： 1989年03月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 先に提案された空気静圧機構と直列に高速・高精度変位アクチュエ...

シソーラス用語： 空気軸受 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： 軸受  (QB01020W)

引用文献 (5件)：

• 1) 渡辺一郎, 青山尚之, 下河辺 明 : 能動空気軸受-浮上方向の位置と振動の超精密制御, 精密工学会誌, 54, 2 (1988) 329.
• 2) 青山尚之, 渡辺一郎, 下河辺 明 : 超高精度直線運動機構 (第1報) -機構の試作と2自由度の制御, 精密工学会誌, 54, 3 (1988) 558.
• 3) T.G Bifano & T.A.Dow : Real Time Control of Spindle Runout, Opt. Eng., 24, 5 (1985) 888.
• 4) 野村武彦, 金井 彰, 宮下政和 : 静圧支持回転軸系の回転振れ自動補正機構-提案と基本動作特性, 精密工学会誌, 53, 7 (1987) 1104.
• 5) 〓口俊郎, 水野 毅 : ユニット型磁気軸受装置の試作と不釣合い補償実験, 精密工学会誌, 53, 6 (1987) 908.

タイトルに関連する用語 (1件)： 動剛性