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J-GLOBAL ID:200902019969074944   整理番号:90A0606328

マイクロアクチュエータ用TiNi形状記憶合金薄膜の結晶学的解析

Crystallographic analysis of TiNi shape memory alloy thin film for micro actuator.
著者 (4件):
資料名:
ページ: 38-39  発行年: 1990年 
JST資料番号: K19900617  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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結晶学的見地から標記の薄膜アクチュエータの基礎研究を行った。...
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分類 (1件):
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その他の金属組織学 

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