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J-GLOBAL ID：200902020617370673   整理番号：89A0410197

イオンプレーティングによる硬質カーボン膜の作製 I

Hard carbon films prepared by ion plating. (1).

著者 (3件)： 小松永治 (神港精機) ,  中曽根正美 (神港精機) ,  川下安司 (神港精機)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 32  号： 3  ページ： 353-355  発行年： 1989年03月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 炭素源に固体の黒鉛を用いてアーク放電型高真空イオンプレーティ...

シソーラス用語： イオンめっき ,...
準シソーラス用語： 黒鉛

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (2件)：

• 1) 川下安司, 中曽根正美, 鈴木 明 : 真空, 5 (1983) 167.
• 2) 犬塚直夫, 澤邊厚仁 : 応用物理, 55 (1986) 648.

タイトルに関連する用語 (3件)： イオンプレーティング ,  硬質カーボン膜 ,  作製