VLSIチップにおける欠陥サイズ分布

文献

J-GLOBAL ID：200902021255297537 整理番号：91A0930431

Defect Size Distribution In VLSI Chips.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 4 号： 4 ページ： 265-269 発行年： 1991年11月
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

多結晶Siの平行線パタンの短絡を調べた。欠陥によって影響を受...

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固体デバイス計測・試験・信頼性

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