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J-GLOBAL ID：200902022128468337   整理番号：82A0382882

微粒ダイヤモンドと石によるシリコンウエハの正面研削

著者 (4件)： 三宅正二郎 (電電公社武蔵野電通研) ,  中田宏 (電電公社武蔵野電通研) ,  渡辺純二 (電電公社武蔵野電通研) ,  黒田久雄 (電電公社武蔵野電通研)
資料名： 精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 48  号： 9  ページ： 1206-1212  発行年： 1982年09月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 芳香族ポリエステル系結合剤から成る微粒ダイヤモンドと石による...

シソーラス用語： ダイヤモンド工具 ,...
準シソーラス用語： 工作精度 ,...

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分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (10件)：

• 1) 岩淵真三郎, 村岡久志 : 結晶切断・研摩技術, 電子材料, 10 (1976) 30.
• 2) 丸山光弘 : LSI生産技術, シリコン結晶技術, 電気化学, 42, 8 (1974) 390.
• 3) 三宅正二郎, 渡辺純二, 上野嘉之, 鶴田兼吉 : フェライトの精密研削 (第1報), 精密機械, 43, 12 (1977) 1415.
• 4) 三宅正二郎, 鶴田兼吉, 渡辺純二, 上野嘉之 : フェライトの精密研削 (第2報), 精密機械, 44, 9 (1978) 1050.
• 5) C. Pollock : The Effect of Some Operating Variables in Vertical Spindle Abrasive Machining of Mild Steel, Trans. ASME, Ser. B, 90, 2, (1968) 365.

タイトルに関連する用語 (4件)： 微粒 ,  ダイヤモンドと石 ,  シリコンウエハ ,  正面研削