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J-GLOBAL ID:200902022701000370   整理番号:93A0190275

Acid-diffusion effect on nanofabrication in chemical amplification resist.

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資料名:
巻: 10  号:ページ: 2615-2619  発行年: 1992年11月 
JST資料番号: E0974A  ISSN: 1071-1023  CODEN: JVTBD9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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