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J-GLOBAL ID：200902023284280999   整理番号：91A0136123

超クリーンルームのための非汚染型イオナイザー

Contamination-free ionizer for super clean room.
著者 (4件)：
SAKATA S

SAKATA S について

(Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN)

Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN について

, 
INABA H

INABA H について

(Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN)

Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN について

, 
YOSHIDA T

YOSHIDA T について

(Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN)

Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN について

, 
OKADA T

OKADA T について

(Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN)

Takasago Thermal Engineering Co., Ltd., Kanagawa Prefecture, JPN について


資料名：
Aerosols: Science, Industry, Health and Environment, Vol.2  (Aerosols: Science, Industry, Health and Environment, Vol.2)

Aerosols: Science, Industry, Health and Environment, Vol.2 について


ページ： 817-820  発行年： 1990年 
JST資料番号： K19900973  ISBN： 0-08-037524-3  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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静電気除去を目的としたイオナイザーで問題となる微粒子やオゾン...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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クリーンルーム

クリーンルーム について

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準シソーラス用語：
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イオナイザ

イオナイザ について


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分類 (2件)：
分類
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空気浄化 
(PC02060X)

空気浄化 について

,  固体デバイス一般 
(NC03010Z)

固体デバイス一般 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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クリーンルーム

クリーンルーム について

, 
汚染

汚染 について


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