多層反射鏡による軟X線縮小リソグラフィー

KINOSHITA H; KURIHARA K; ISHII Y; TORII Y

文献

J-GLOBAL ID：200902024605878162 整理番号：90A0237043

多層反射鏡による軟X線縮小リソグラフィー

Soft x-ray reduction lithography using multilayer mirrors.

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巻： 7 号： 6 ページ： 1648-1651 発行年： 1989年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

画像縮小用の多層反射鏡と反射型マスクを用いた標記装置を設計し...

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続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=90A0237043&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0974A") }}

固体デバイス製造技術一般 , X線技術

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