反応性スパッタリングのプロセスモデル化

BERG S; BLOM H-O; MORADI M; NENDER C; LARSSON T

文献

J-GLOBAL ID：200902024993707560 整理番号：89A0464677

反応性スパッタリングのプロセスモデル化

Process modeling of reactive sputtering.

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資料名：
巻： 7 号： 3 Pt.1 ページ： 1225-1229 発行年： 1989年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

反応性スパッタリングプロセスに関する単純モデルを既知の気体運...

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薄膜一般

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