マグネトロンスパッタ法で形成したSiO<sub>2</sub>/128°Y-XLiNbO<sub>3</sub>構造のSAWの性質

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J-GLOBAL ID：200902028411543556 整理番号：84A0308865

マグネトロンスパッタ法で形成したSiO₂/128°Y-XLiNbO₃構造のSAWの性質

SAW properties of SiO₂/128° Y-X LiNbO₃ structure fabricated by magnetron sputtering technique.

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巻： 31 号： 1 ページ： 51-57 発行年： 1984年01月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0018-9537 CODEN： IESUA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

互いに周波数温度係数(TCD)の符号が逆である,標題の二物質...

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弾性表面波デバイス , 圧電デバイス

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