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J-GLOBAL ID：200902031539324769   整理番号：86A0210625

光学式非接触プローブの研究 II 小型一体化プローブ

An optical non-contacting probe. (2nd report) Experiments on a miniaturized one body probe.

著者 (2件)： 長田秀治 (東京工大精密工研) ,  下河辺明 (東京工大精密工研)
資料名： 精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 51  号： 12  ページ： 2271-2276  発行年： 1985年12月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標題をより実用化するため小型一体化を試みた。光源は半導体レー...

シソーラス用語： 光検出器 ,...

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (1件)：

• 1) 下河辺 明, 長田秀治 : 光学式非接触ブローブの研究, 精密機械, 50, 7 (1984) 1123.

タイトルに関連する用語 (5件)： 光学 ,  非接触 ,  プローブ ,  研究 ,  一体化