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J-GLOBAL ID:200902032956322147   整理番号:86A0321394

CMOS ICのゲート酸化膜の短絡現象の電気的特性と試験留意点

Electrical characteristics and testing considerations for gate oxide shorts in CMOS ICs.
著者 (2件):
資料名:
巻: 1985  ページ: 544-555  発行年: 1985年 
JST資料番号: E0211B  ISSN: 1089-3539  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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CMOS ICのゲート酸化膜に起因する短絡故障の解析手法を確...
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分類 (2件):
分類
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固体デバイス計測・試験・信頼性  ,  集積回路一般 

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