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J-GLOBAL ID：200902035174037981   整理番号：91A0802506

新しい平面型マイクロ波プラズマ源でのダイアモンド成長の研究

Investigation of diamond growth in a new planar microwave plasma source.

著者 (2件)： OHL A (Central Inst. Electron Physics, Academy of Science of the G.D.R., Greifswald, DEU) ,  SCHMIDT M (Central Inst. Electron Physics, Academy of Science of the G.D.R., Greifswald, DEU)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 47  号： 1/3  ページ： 29-38  発行年： 1991年08月 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 均一な大面積プラズマを形成できるマイクロ波プラズマ源による減...

シソーラス用語： マイクロ波 ,...
準シソーラス用語： エタノール

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ波プラズマ ,  ダイアモンド ,  成長 ,  研究