イオン利用薄膜蒸着における熱スパイクによる構造変化のモンテカルロ計算

文献

J-GLOBAL ID：200902036827592699 整理番号：86A0237033

Monte Carlo calculation for structural modifications in ion-assisted thin film deposition due to thermal spikes.

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資料名：
巻： 4 号： 2 ページ： 184-188 発行年： 1986年03月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

イオンを使って気相から成長する二次元薄膜の微細構造について計...

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金属の放射線による構造と物性の変化 , 金属薄膜

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