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J-GLOBAL ID：200902037405782793   整理番号：91A0832232

Operation of sub-micron gap electrostatic comb-drive actuators.

著者 (4件)：
HIRANO T

HIRANO T について

(IBM Research, Tokyo, JPN)

IBM Research, Tokyo, JPN について

, 
FURUHATA T

FURUHATA T について

(IBM Research, Tokyo, JPN)

IBM Research, Tokyo, JPN について

, 
GABRIEL K J

GABRIEL K J について

(AT&T Bell Lab., NJ)

AT&T Bell Lab., NJ について

, 
FUJITA H

FUJITA H について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について


資料名：
Digest of Technical Papers. Transducers ’91  (Digest of Technical Papers. Transducers '91)

Digest of Technical Papers. Transducers ’91 について


ページ： 873-876  発行年： 1991年 
JST資料番号： K19910489  ISBN： 0-87942-586-5  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
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GAP

GAP について


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