アルカリ性溶液中における結晶性シリコンの異方性エッチング II ドーパントの影響

SEIDEL H; CSEPREGI L; HEUBERGER A; BAUMGAERTEL H

文献

J-GLOBAL ID：200902038479227011 整理番号：91A0003159

アルカリ性溶液中における結晶性シリコンの異方性エッチング II ドーパントの影響

Anisotropic Etching of Crystalline Silicon in Alkaline Solutions. II. Influence of Dopants.

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巻： 137 号： 11 ページ： 3626-3632 発行年： 1990年11月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

エチレンジアミン,KOH,NaOHおよびLiOH系水溶液中で...

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固体デバイス製造技術一般

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